טעכניש פּאַראַמעטערס
נומער | פּאַראַמעטער |
מאָדעל | YY311-AE3 |
מעסטן קייט (פילם) | 0.01 ~ 40 ג / (מ2· טאָג) (סטאַנדאַרד) 0.1 ~ 1000 ג / (מ2· טאָג) (אָפּטיאָנאַל) |
מוסטער קוואַנטיטי | 3 (אָפּציעס 1) |
האַכלאָטע | 0.001 ג / (מ2· טאָג) |
מוסטער גרייס | Φ108מם |
מעאַסורינג ויסמעסטונג | 50 סענטימעטער2 |
מוסטער גרעב | ≤3מם |
טעסטינג מאָדע | דריי טשיימבערז מיט פרייַ דאַטן |
טעמפּעראַטור קאָנטראָל קייט | 15 ℃ ~ 55 ℃ (האַכלאָטע ± 0.01 ℃) |
טעמפּעראַטור קאָנטראָל פּינטלעכקייַט | ±0.1℃ |
הומידיטי קאָנטראָל קייט | 0 ~ 100% RH |
הומידיטי קאָנטראָל פּינטלעכקייַט | ±1%רה |
טרעגער גאַז | 99.999% ניטראָגען מיט הויך ריינקייַט (לופט מקור איז צוגעגרייט דורך די באַניצער) |
טרעגער גאַז לויפן | 0 ~ 200 מל / מין (פול-אָטאַמאַטיק קאָנטראָל) |
לופט מקור דרוק | ≥0.28MPa/40.6psi |
פּאָרט גרייס | 1/8 אינטש |
סטרויערן מאָדע | נאָרמאַל פילם סטרויערן |
האָסט גרייס | 350 מם (ל) × 695 מם (וו) × 410 מם (ה) |
האָסט וואָג | 60 קג |
מאַכט צושטעלן | AC 220V 50Hz |